RTS-8型數字式四探針測試儀

簡單描述
恒流源電流量程分為1µA、10µA、100µA、1mA、10mA、100mA六檔；可連接電腦使用也可以不連接電腦使用，連接電腦使用帶自動測量功能，自動選擇適合樣品測試電流量程；高速並口通訊接口，連接電腦使用時采集數據到電腦的時間隻需要1.5秒（在0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）；
更新時間： 2025-05-19
產品型號： RTS-8

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詳細介紹

RTS-8型數字式四探針測試儀(yi)

1.恒流源電流量程分為(wei) 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔；

2.可連接電腦使用也可以不連接電腦使用，連接電腦使用帶自動測量功能，自動選擇適合樣品測試電流量程；

3.高速並口通訊接口，連接電腦使用時采集數據到電腦的時間隻需要1.5秒（在0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）；

RTS-8型數字式四探針測試儀(yi) 是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀(yi) 器按照單晶矽物理測試方法國家標準並參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，於(yu) 測試半導體(ti) 材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀(yi) 器。
    儀(yi) 器由主機、測試台、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控製測試采集測試數據到計算機中加以分析，然後以表格，圖形方式統計分析顯示測試結果。
    儀(yi) 器采用了電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量範圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。
    本儀(yi) 器適用於(yu) 半導體(ti) 材料廠、半導體(ti) 器件廠、科研單位、高等院校對半導體(ti) 材料的電阻性能測試。

RTS-8型四探針軟件測試係統是一個(ge) 運行在計算機上擁有友好測試界麵的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數據並對測試數據進行統計分析。
測試程序控製四探針測試儀(yi) 進行測量並采集測試數據，把采集到的數據在計算機中加以分析，然後把測試數據以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日後參考和查看，還可以把采集到的數據輸出到Excel中，讓用戶對數據進行各種數據分析

技術參數：

測量範圍	電阻率：10^-5～10⁵ Ω.cm(可擴展)；方塊電阻：10^-4～10⁶ Ω/□(可擴展)；電導率：10^-5～10⁵ s/cm；電阻：10^-5～10⁵ Ω；
可測晶片直徑	140mmX150mm(配S-2A型測試台)； 200mmX200mm(配S-2B型測試台)； 400mmX500mm(配S-2C型測試台)；
恒流源	電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續可調
數字電壓表	量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　分辨力：10μV；輸入阻抗：>1000MΩ；精度：±0.1% ；顯示：四位半紅色發光管數字顯示；極性、超量程自動顯示；
四探針探頭基本指標	間距：1±0.01mm；針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機械遊移率：≤0.3%；探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
四探針探頭應用參數	(見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差 ( 按JJG508-87進行)	0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整機測量zui大相對誤差	(用矽標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機測量標準不確定度	≤5%
測試模式	可連接電腦測試也可不連接電腦測試
軟件功能（選配）	軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數據，並統計分析測試數據zui大值、zui小值、平均值、zui大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、並將數據生成直方圖，也可把測試數據輸出到Excel中，對數據進行各種數據分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。
計算機通訊接口	並口，高速並行采集數據，連接電腦使用時采集數據到電腦的時間隻需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）。
標準使用環境	溫度：23±2℃；相對濕度：≤65%；無高頻幹擾；無強光直射；

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